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FilmStar 光学薄膜分析设计软件 |
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FilmStar 是一个强大且容易使用的窗口之薄膜设计软件,它包含了五种模块对于光学薄膜镀膜的设计、特征化、量测、监控等有强大的功能,分别为 DESIGN( 设计 )、INDEX(使用者自订函数)、MEASURE(控制并透过分光亮度计获得信息)、 MONITOR(监控系统)、CRYSTAL(转换薄膜设计到Inficon IC/4+、IC/5+及Sycon STC-200/SQ 控制器作处理)。 |
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FilmStar应用领域及范围 |
- 光学系统组件之抗反射膜
- 抗紫外线膜
- 亮度衰减膜
- 高反射膜
- 双色滤光片
- 偏极分光片
- 偏极延迟片
- 带通滤光片
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FilmStar 主要模块介绍 |
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DESIGN ( 设计 )模块 |
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薄膜设计 (Thin Film Design) |
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其中包含许多的功能及主要特色: |
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光学 (Optical)、物理(Physical)、大量(massive)层的厚度定义 |
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光学和物理厚度的转换 |
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组和层数的转换 |
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不同质 (inhomogeneous) 层的仿真 |
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包含了 52 种膜的材料 |
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反向设计 (reverse design) |
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索引 (Film Indices) |
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提供 常量、色散 (dispersive)查阅表,内建函数包含Buchdahl、 Cauchy、Lorentz、 quadratic、 Sellmeier等等,使用者可增加到20种新的函数到内建的编辑功能中,如FilmStar Workbook、Excel或是其他程序中。 |
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基底补偿(Substrate Compensation) |
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提供 精确的校正基底表面,对于正向及逆向入射光,基底可被视?大量的 (massive)层,在系统中含有多重吸收基底及空气间距,这样允许被计算及最佳化。 |
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计算量(Calculated Quantities) |
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[%R , %T , O.D , 相位] V.S [波长 , 角度 , 厚度] |
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CIE color |
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椭率测量术(ellipsometry) |
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Herpin indices |
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最佳化 (Optimization):提供四种优化方式 |
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Damped Least Squares |
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Levenberg-Marquardt |
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Simplex |
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NOL Gradient Methods |
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INDEX(使用者自订函数)模块 |
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光学膜不仅只是设计,还必须能被特征化,对成功的薄膜制造而言,推断色散指数 (dispersive indices) 的能力就非常重要。 |
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索引目录(Index Tables) |
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提供 N, K 目录,使用者自订函数能被定义在内建的 FilmStar workbook 或外部的 Windows 程序,如 Excel 或是 Visual Basic 。 |
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附加运算法(Additional algorithms) |
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对于已知厚度的单层薄膜可由 %R及 %T信息计算 N,K |
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对于轻微吸收的单层薄膜可由 %T 信息计算 N,K |
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由 %R 及 %T 信息计算 filter glass 基底的 N,K |
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MEASURE (控制并透过分光亮度计获得信息)模块 |
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MEASURE 由分光亮度计 (Spectrophotometers) 控制及获得信息,它亦可与 FilmStar 中的 DESIGN 结合。所提供的量测控制,为化学专用软件的最佳替代选择。以下的仪器是当前所支持的:所提供的量测控制,为化学专用软件的最佳替代选择。以下的仪器是当前所支持的:
| Perkin-Elmer |
Lambda 2,5,7,9,19,900
88x,983,983G(FIR models)
Spectrum2000FTIR |
| Hewlett |
HP8453 Diode-Array |
| Varian Associates |
Cary1,3,4,5 |
| Hitachi |
U-3200/3210,U-3400/3410 |
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MONITOR(监控系统)模块 |
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MONITOR使用者能仿真沉积过程(Deposition processes)及决定最理想的方式获取高?量的生?。 |
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CRYSTAL模块 |
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CRYSTAL 转换薄膜设计到 Inficon IC/4+,IC/5+ 及 Sycon STC-200/SQ 控制器作处理,以上概括简述 FilmStar 的特色及功能,它亦能做容限 (Tolerancing) 分析、产量分析、 … 等等,实为光学设计者的有利帮手。 |
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FilmStar April.23.2003版本新功能说明 |
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新的FilmStar数据库(Database)已经完成了对MS Access的联结 |
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对测试试用版感兴趣的使用者可以透过电子邮件与我们联系,我们将告知您可供下载的操作说明以及新的安装口令,除了MEASURE的Varian Cary模块之外,所有程序皆可运行这个新的数据库。 |
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新版本让您可登录为 FilmStar 的管理员 ( Administrator) |
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可 限制其他的计算机在运行 FilmStar时,对 程序功能做访问。例如,镀膜部门里用于光学监控的计算机,能设置为不允许使用者编辑或保存薄膜设计。 |
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新版本中的其他功能 |
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包括波长的单位、兆赫(terahertz)和 Maxwell-Garnett 的 INDEX 模块(感谢 Stephen Sathiaraj 博士协助新模块的运行和验证),其他 INDEX 模块将在下个月新增。 |
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当前版本仍持续改进部分功能,例如:INDEX的最新版本,让您可以限制index function相对于所显示波长范围的优化(fitting)功能,我们发现在可见光范围内,可有效消除紫外线(UV)以及红外线(IR)的信息点而不需要TiO 2 的优化(fit)。有一个包含版本的修正和改进的综合列表,可以在以下网址查找:http://www.ftgsoftware.com/revisions.htm |
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您知道可以使用标准的Windows文件对话窗替换FTG式的对话窗吗?FTG式对话窗的用意在于可允许使用者输入文件的描述,但对于长档名的所有文件类型,您可以视这些描述为多余的。Windows文件对话窗的一个优点为当勾选FILM Archive模式时,可更容易保存与装入FILM Archive的模块(如 Graph Axes )。 |
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