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FilmStar薄膜分析软件
軟體概說簡介 軟體介紹與說明
應用範圍及領域 新版本功能
技术文章 安装说明 FAQ
FilmStar 光学薄膜分析设计软件
FilmStar 是一个强大且容易使用的窗口之薄膜设计软件,它包含了五种模块对于光学薄膜镀膜的设计、特征化、量测、监控等有强大的功能,分别为 DESIGN( 设计 )、INDEX(使用者自订函数)、MEASURE(控制并透过分光亮度计获得信息)、 MONITOR(监控系统)、CRYSTAL(转换薄膜设计到Inficon IC/4+、IC/5+及Sycon STC-200/SQ 控制器作处理)。
 
FilmStar应用领域及范围
  • 光学系统组件之抗反射膜
  • 抗紫外线膜
  • 亮度衰减膜
  • 高反射膜
  • 双色滤光片
  • 偏极分光片
  • 偏极延迟片
  • 带通滤光片
 
FilmStar 主要模块介绍
   
DESIGN ( 设计 )模块
薄膜设计 (Thin Film Design)
  其中包含许多的功能及主要特色:
 
光学 (Optical)、物理(Physical)、大量(massive)层的厚度定义
光学和物理厚度的转换
组和层数的转换
不同质 (inhomogeneous) 层的仿真
包含了 52 种膜的材料
反向设计 (reverse design)
索引 (Film Indices)
  提供 常量、色散 (dispersive)查阅表,内建函数包含Buchdahl、 Cauchy、Lorentz、 quadratic、 Sellmeier等等,使用者可增加到20种新的函数到内建的编辑功能中,如FilmStar Workbook、Excel或是其他程序中。
基底补偿(Substrate Compensation)
  提供 精确的校正基底表面,对于正向及逆向入射光,基底可被视?大量的 (massive)层,在系统中含有多重吸收基底及空气间距,这样允许被计算及最佳化。
计算量(Calculated Quantities)
 
[%R , %T , O.D , 相位] V.S [波长 , 角度 , 厚度]
CIE color
椭率测量术(ellipsometry)
Herpin indices
最佳化 (Optimization):提供四种优化方式
 
Damped Least Squares
Levenberg-Marquardt
Simplex
NOL Gradient Methods
   
INDEX(使用者自订函数)模块
  光学膜不仅只是设计,还必须能被特征化,对成功的薄膜制造而言,推断色散指数 (dispersive indices) 的能力就非常重要。
索引目录(Index Tables)
  提供 N, K 目录,使用者自订函数能被定义在内建的 FilmStar workbook 或外部的 Windows 程序,如 Excel 或是 Visual Basic 。
附加运算法(Additional algorithms)
 
对于已知厚度的单层薄膜可由 %R及 %T信息计算 N,K
对于轻微吸收的单层薄膜可由 %T 信息计算 N,K
由 %R 及 %T 信息计算 filter glass 基底的 N,K
   
MEASURE (控制并透过分光亮度计获得信息)模块
 

MEASURE 由分光亮度计 (Spectrophotometers) 控制及获得信息,它亦可与 FilmStar 中的 DESIGN 结合。所提供的量测控制,为化学专用软件的最佳替代选择。以下的仪器是当前所支持的:所提供的量测控制,为化学专用软件的最佳替代选择。以下的仪器是当前所支持的:

Perkin-Elmer Lambda 2,5,7,9,19,900
88x,983,983G(FIR models)
Spectrum2000FTIR
Hewlett HP8453 Diode-Array
Varian Associates Cary1,3,4,5
Hitachi U-3200/3210,U-3400/3410
   
MONITOR(监控系统)模块
  MONITOR使用者能仿真沉积过程(Deposition processes)及决定最理想的方式获取高?量的生?。
   
CRYSTAL模块
  CRYSTAL 转换薄膜设计到 Inficon IC/4+,IC/5+ 及 Sycon STC-200/SQ 控制器作处理,以上概括简述 FilmStar 的特色及功能,它亦能做容限 (Tolerancing) 分析、产量分析、 … 等等,实为光学设计者的有利帮手。
 
FilmStar April.23.2003版本新功能说明
  新的FilmStar数据库(Database)已经完成了对MS Access的联结
  对测试试用版感兴趣的使用者可以透过电子邮件与我们联系,我们将告知您可供下载的操作说明以及新的安装口令,除了MEASURE的Varian Cary模块之外,所有程序皆可运行这个新的数据库。
   
新版本让您可登录为 FilmStar 的管理员 ( Administrator)
  可 限制其他的计算机在运行 FilmStar时,对 程序功能做访问。例如,镀膜部门里用于光学监控的计算机,能设置为不允许使用者编辑或保存薄膜设计。
   
新版本中的其他功能
  包括波长的单位、兆赫(terahertz)和 Maxwell-Garnett 的 INDEX 模块(感谢 Stephen Sathiaraj 博士协助新模块的运行和验证),其他 INDEX 模块将在下个月新增。
   

当前版本仍持续改进部分功能,例如:INDEX的最新版本,让您可以限制index function相对于所显示波长范围的优化(fitting)功能,我们发现在可见光范围内,可有效消除紫外线(UV)以及红外线(IR)的信息点而不需要TiO 2 的优化(fit)。有一个包含版本的修正和改进的综合列表,可以在以下网址查找:http://www.ftgsoftware.com/revisions.htm

   
您知道可以使用标准的Windows文件对话窗替换FTG式的对话窗吗?FTG式对话窗的用意在于可允许使用者输入文件的描述,但对于长档名的所有文件类型,您可以视这些描述为多余的。Windows文件对话窗的一个优点为当勾选FILM Archive模式时,可更容易保存与装入FILM Archive的模块(如 Graph Axes )。
 
 
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