铝合金Al6061中缺陷对金刚石车削光学元件衍射效应的影响

摘要：铝合金Al6061是制造反射光学元件最常用的材料之一。为揭示Al6061材料的金刚石车削后材料缺陷造成的衍射效应影响，本研究基于成熟的表面形貌模型进行了模拟分析。结果表明：当x-y轴方向尺寸参数相近的缺陷（如晶界、硬质夹杂物凸起及空洞）存在时，会导致接收屏上出现全局性衍射光斑。加工表面划痕主要影响水平方向衍射光斑分布，其影响模式与车削痕迹相似。氧化膜对衍射光分布的影响较为有限，因其在环境中具有均匀特性且厚度较小。模拟与实验结果表明，随着工件基体中缺陷尺寸增大，镜面光的衍射效率明显降低。